Knight+ Series 皮秒深紫外193 nm激光器

Knight+系列工业级皮秒193 nm激光器采用紧凑的—体式设计方案，自主研发的控制系统，具有更好的功率稳定性和光学指标—致性。整机采用自主研发皮秒光纤种子源配合自由空间固体放大器，高效频率转换以实现高质量皮秒深紫外脉冲输出。Knight+皮秒193 nm深紫外激光器的最高功率输出可达0.5W，可用于先进制程的掩膜版缺陷检测场景。

●掩膜版缺陷检测●激光直写光刻●精密测量●光谱学

●—体式设计方案●自主研发高频种子源●自研软硬件控制系统●多级补偿的恒定功率输出●自适应指向稳定系统●多物理场数据实时监测及记录●远程诊断及预判性维护●良好的稳定性和—致性