微纳雕刻

该系统由纳秒激光器、皮秒激光器、激光雕刻控制模块、激光耦合和聚焦模块、光束运动控制模块和样品三维位移模块组成。该系统使用多路耦合的多台脉冲激光器来实现对不同材质的二维材料和人工超表面的精密加工，非常适合异质结构、叠层结构和更复杂的体系的精密加工，是构建二维人工超表面和功能化微纳光学结构的理想工具。

●二维材料的图案化加工

●自主研发激光光源●纳米级雕刻精度●高清视觉定位