Knight+ Series 皮秒深紫外266 nm激光器
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参数
产品简介
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Knight+系列工业级皮秒266nm激光器采用紧凑的—体式设计方案，全新升级的控制系统，具有更好的功率稳定性和光学指标—致性。整机采用自主研发皮秒光纤种子源、自由空间光固体放大和高效频率转换实现皮秒深紫外高重频脉冲输出，通过多物理场数据实时监测及记录实现远程诊断及预判性维护，各项参数指标完全对标进口同类产品。Knight+皮秒深紫外激光器可接受外观尺寸和光学参数的定制，最高功率输出可达10W，脉冲频率60MHz-120MHz，适用于先进制程的半导体晶圆缺陷检测场景。
应用领域
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●掩膜版缺陷检测●无图形晶圆缺陷检测●纳米图形晶圆缺陷检测
产品特点
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● —体式设计方案 ● 自主研发高频种子源 ● 自研软硬件控制系统 ● 多级补偿恒定功率输出 ● 自适应指向稳定系统 ● 多物理场数据实时监测及记录 ● 远程诊断及预判性维护 ● 良好的稳定性和—致性
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