Knight+ Series 皮秒深紫外213 nm激光器
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参数
产品简介
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Knight+系列工业级皮秒213 nm激光器采用紧凑的—体式设计方案，自主研发的控制系统，具有更好的功率稳定性和光学指标—致性。整机采用自主研发皮秒光纤种子源配合自由空间固体放大器，高效频率转换以实现高质量皮秒深紫外脉冲输出。Knight+皮秒213 nm深紫外激光器的最高功率输出可达1.0 W，可用于先进制程的晶圆缺陷检测和精密测量场景
应用领域
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●精密测量和检测●激光直写光刻●光谱学
产品特点
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●—体式设计方案●自主研发高频种子源●自研软硬件控制系统●多级补偿的恒定功率输出●自适应指向稳定系统●多物理场数据实时监测及记录●远程诊断及预判性维护●良好的稳定性和—致性
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