半导体领域

我们的解决方案:

为芯片制造的质量保驾护航

在价值千金的晶圆和芯片上,任何一次激光能量的失控,都意味着巨大的经济损失。我们深刻理解半导体制造对过程稳定性和数据追溯性的极致追求,因此提供贯穿激光加工环节的全方位质量监控方案

·为保障加工一致性: 我们的 激光功率监控模块 如同激光器的“心电图”,7x24小时实时监测激光输出功率的稳定性。确保每一次开槽、每一次切割的深度和效果都完美一致,从源头杜绝因功率漂移导致的批量性缺陷。

·为实现过程可追溯: 我们的 激光焊接监测系统 其核心原理同样适用于对激光与材料相互作用(如等离子体羽辉)的实时监控。通过对加工过程的实时感知与数据记录,为每一片经过关键激光工序的晶圆建立完整的“工艺档案”,满足半导体行业最高的质量追溯标准。

我们不仅是激光技术的提供者,更是您实现卓越制造、降低综合成本的质量合作伙伴。

核心应用场景
晶圆与掩膜版缺陷检测
无图形晶圆缺陷检测、纳米图形晶圆缺陷检测、掩模版缺陷检测、功率芯片缺陷检测。
硬脆材料加工与检测
3C领域玻璃、显示屏的激光精密加工;Micro-LED激光诱导剥离;晶圆裂片(Si/SiC/GaN/金刚石)。
柔性材料激光加工
电池电芯三大核心材料,正极/负极/隔膜的激光打孔、刻槽、清洗、切割和焊接。
AI辅助智造
硅通孔加工: 用于在硅中介层或芯片内部加工微米级的通孔,是实现2.5D/3D封装、提升芯片互联带宽和降低功耗的核心工艺。
玻璃通孔加工: 用于面板级封装,激光可在玻璃基板上加工出高深宽比的通孔,实现高密度互联。
激光诱导石墨烯: 在柔性基板上直接“绘制”电路,为新型半导体器件提供可能。