产品介绍（Description）

Knight系列工业级皮秒激光器采用紧凑的一体式设计方案，全新升级的控制系统，不但具有多种控制功能，而且具有更好的功率稳定性和光学指标一致性。整机采用自主研发皮秒光纤种子源配合自由空间固体放大器，高效频率转换实现皮秒深紫外脉冲输出，与传统的固体皮秒激光器相比具有更加稳定耐久的性能，采用固体放大器确保高峰值功率激光输出。Knight皮秒深紫外激光器的最高功率输出可达5 W，最大单个脉冲能量为5µJ，而且脉宽可控，在半导体晶圆缺陷检测等领域表现出优异的综合性能。

产品特点（Features）

●一体式设计方案

●自主研发核心种子源

●良好的稳定性和一致性

●数据实时检测及记录

●远程诊断及预测性维护

●脉冲串模式/PSO（POD)频率跟随功能

●稳定可靠，满足7/24工业化生产条件

规格参数Specifications

应用领域（Applications）

明/暗场图形缺陷检测原理图        无图形表面检测系统原理图

  晶圆颗粒度缺陷检测案例